真空蝶阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动蝶阀作启闭运动，用于接通或切断真空管路中的气流。气动真空蝶阀适用 介质为纯净空气和非腐蚀性气体，可选配反馈信号装置及电气阀门定位器。
GIQ系列气动真空蝶阀主要性能：
● 漏率：≤1.3×10-9Pa.M3/S；
● 适用压力范围：1.3×10-5Pa～3×105Pa;
● 工作温度：氟橡胶-25℃～+150℃；
● 安装位置：任意；
● 气源压力：0.4－0.6Mpa；
● 阀板两侧压力差与阀门开、关无关；
● 寿命：≥10000次。
特点及主要零件材料：
以电磁换向阀控制气动执行机构，使阀杆转动90°达到开关目的。
特点：
● 阀门能承受正压力；
● 阀杆不上下窜动；
● 气缸采用1/4旋转式气缸，角度可调 1°～5°。
主要零件材料：
体、杆、板 不锈钢、碳钢镀镍；密封件 氟橡胶、氟橡胶